杜邦Krytox VPF 半导体工业真空泵油

一、特性：

化学稳定性：krytox VPF化学性能非常稳定，耐强酸，包括极强的路易氏酸，耐强碱。性能非常稳定，与接触的任何特种气体如氟气，SiH4等，强腐蚀性物质，强氧化剂，还原剂均不发生反应；

不燃烧性：Krytox 分子结构中不含氢元素，耐氧化，不会燃烧，无闪点， 无自燃点，可避免任何火灾的隐患，达到半导体行业安全性的要求；

热稳定性：极低的蒸发率和降解率，能够避免任何残留物的形成而影响半导体工业中反应室的纯净度及高真空度的维持。

卓越的润滑性能：尤其在比较宽的操作温度范围，在高负载，高压强的情况下，Krytox 均具良好的润滑性能，能够减少磨耗，尤其对真空泵及压缩机等设备维持优良的运行性能等等非常重要。

粘度和蒸气指标稳定可靠：能够保持极低的回流率，从而能够持续地保证系统的高真空度。

二、用途：

用于半导体真空泵的润滑

三、认证：

杜邦公司KRYTOX VPF系列产品得到所有主要真空泵制造商 如：莱宝（Leybold）,爱华德（Edwards）,荏原（Ebara）等认可并使用；

杜邦公司KRYTOX VPF系列产品也得到半导体工业设备制造商 如：应用材料（AMAT）,东京电子（TEL）,诺发系统（Novellus）等公司的认可并使用；